Entwicklung und der Vertrieb von Laserlithografiesystemen sowie deren Systemkomponenten und -zubehör inklusive photosensitiver Materialien und zugehöriger Chemikalien, das Anbieten von Dienstleistungen basierend auf der Nutzung dieses laserlithografischen Verfahrens, sowie Dienstleistungen, Entwicklung, Herstellung und Vertrieb von Chemikalien für die Laserlithographie, sowie das Anbieten von Dienstleistungen, Entwicklung und Vertrieb von Systemen zur physikalischen oder chemischen Abscheidung dünner Schichten, sowie das Anbieten von Dienstleistungen, Entwicklung und Vertrieb von Proben basierend auf der Nutzung dieser Systeme. Darüber hinaus entwickelt das Unternehmen Spezial-Software zur Ansteuerung der Laserlithografiesysteme, für das Optikdesign sowie zur optischen Charakterisierung und theoretischen Modellierung strukturierter Materialien.
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